IGS2 [반도체] 기구설계 기초 지식 11. Manual Valve 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 지난 시간에 이어 IGS(Integrated Gas System) 내부에 들어가는 부품들 중 Manual Valve에 대해 상세히 알아보는 시간을 가져 보도록 하겠습니다. Manual Valve 수동으로 작동하는 Valve로 수동 개폐로 인해 Gas Line ON/OFF를 결정할 수 있는 Valve입니다. 주로 Maintenance 또는 장비 이동 등의 상황에서 사용됩니다. Manual Valve에는 다음과 같은 여러 가지 Type의 Valve가 존재합니다. 1. Ball Valve Valve의 Plug가 Ball형으로 되어 있으며, 가운데로 유체가 통과할 수 있도록 구멍이 있는 Valve입니다. 1) 장점 : 90도만 회전시켜도 Valve의 개폐가 가능하며,.. 2020. 8. 30. [반도체] 기구설계 기초 지식 10. 기본 PARTS 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 장비 기구설계 시 사용되는 기계부품, PARTS 들에 대해 알아보도록 하겠습니다. 1. Baratron Gauge(바라트론 게이지) Baratron Gauge (바라트론 게이지)는 Throttle Valve와 연동되어 동작하는 Gauge를 말합니다. 이 Gauge를 사용하면 가스의 종류에 상관없이 True Pressure(P=F/A[단위:N/m^2)를 확인할 수 있습니다. 반도체 장비에서 흔히 사용되는 PARTS 중 하나로 가스의 압력을 확인하기 위해 사용됩니다. Baratron Gauge는 Plasma에 강하기 때문에 고진공에 자주 사용됩니다. Pressure Scale Range에 따라 1 torr, 10 torr, 1000 torr 등 다양한 타입.. 2020. 8. 24. 이전 1 다음
