반도체 장비 기구설계5 [반도체] 기구설계 기초 지식 05. Cylinder 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 기구 구동부에서 가장 많이 쓰이는 기계 부품. Cylinder에 대해 알아보도록 하겠습니다. 구동기기란? 공기압으로 하는 일 중에는, 주로 직선 운동(Air Cylinder), 회전 운동(Rotary) 파지(Air Chuck)가 있습니다. 이러한 공기압으로 동작시키는 모든 기기를 구동기기라고 부릅니다. 이때 공기압으로 일을 하려면, Air Cylinder가 필요합니다. 압축 공기로 동작, 일을 하는 기기를 구동기기라고 부르지만, 이 중에서 직선 운동을 하는 것이 Cylinder 입니다. Cylinder란? 어릴적부터 쉽게 접하는 이 Cylinder는 기구 제품에 핵심이 되는 부품 중 하나입니다. 병원에서 사용하는 주사기도 이러한 Cylinder의 원리를.. 2020. 8. 17. [반도체] 기구설계 기초 지식 04. LM Guide 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 기구설계시 가장 많이 쓰이는 Parts인 LM Guide에 대해 알아보도록 하겠습니다. LM Guide란? Linear-Motion Guide 의 약자로 LM Block 내부의 베어링을 효율적으로 움직여, 마찰을 최소화 하고 기구의 직선운동을 매끄럽게 동작시켜 주는 장치를 말합니다. LM Guide 자체에는 추진력이 없어 실린더, 모터 등을 함께 활용합니다. LM Guide의 명칭 LM Guide는 제조사마다 명칭이 조금씩 다르지만 용도는 동일합니다.일반적으로 우리가 가장 쉽게 접하는 제조사들을 예로 들자면,Misumi의 Linear Guide, THK의 LM Guide, NSK의 NSK Linear Guide 등 비슷한 명칭으로 불리우고 있습니다. L.. 2020. 8. 17. [반도체] 기구설계 기초 지식 03. 진공 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체에서도 가장 중요한 개념인 진공에 대해 알아보고자 합니다. 진공이란? 간단히 말해 직관적으로 아무것도 존재하지 않은 텅 빈 공간. 즉, 아무 입자들도 존재하지 않아 가장 이상적인 상태를 말합니다. 진공 Quality 한 공간 안에 남아 있는 물질들의 양을 뜻하는 말로, 이 물질의 양에 의해 진공의 질 (Vacuum Quality)이 결정된다. 정리를 하면 다음의 표와 같이 정리할 수 있습니다. 반도체 공정에서 왜 진공이 중요한가요? 반도체 공정에서 특히 진공의 개념이 강조되고 있습니다. 그 이유는 바로 Particle 방지를 위한 기초 개념이기 때문입니다. 내가 원하는 Source만을 증착시키고 깍아나가고 싶은 공정에서 다른 기체가 혼합이 된다면, 미세한.. 2020. 8. 12. [반도체] 기구설계 기초 지식 02. 표면처리 지난 번에는 반도체 장비를 설계하는데 쓰이는 기본 8가지 재질에 대해 알아보았는데요? 오늘은 반도체 재질을 어떤 식으로 표면처리 하는지에 대해 알아보도록 하겠습니다. Define 표면처리(Surface Finishing)란? 재료의 표면을 특정한 특성을 얻기 위하여 도금이나 칠 따위를 하는 일을 말한다. 좀더 상세히 말해보면, 금속 표면의 외관, 접착성, 용접성, 내식성, 내마모성, 경도 등의 특성을 향상시키거나 가공 후 남은 표면의 burr 또는 표면 결함 등을 제거하기 위하여 표면을 물리적, 화학적으로 개조하는 일을 말한다. 표면처리는 처리 방식에 따라 크게 Adding or Altering과 Removing or reshaping으로 나뉜다. ▶ Adding or Alering 방식의 표면처리 종류.. 2020. 8. 10. [반도체] 기구설계 기초 지식 01. Material 반도체 기구설계를 진행하기 위해 가장 기초가 되는 지식은 바로 재료이다. 어떠한 Mateiral을 쓰느냐에 따라 가격, 가공시간을 결정할 뿐 아니라, 반도체에서 가장 중요한 Particle 을 방지할 수 있는 가장 기본이 되는 요소이기 때문이다. 그렇다면, 반도체 장비에서 가장 흔히 쓰이는 재료들을 한번 살펴보면 다음과 같다. • 목록 1. 알루미늄 합금(Aliminum Alloy) 2. 스테인리스강 (Stainless Steel, SUS-JIS 규격, STS-KS 규격) 3. 강 (Steel) 4. 석영 (Quartz) 5. 세라믹 (Ceramic) 6. 하스테로이 (Hastelloy) 7. 니켈(Nickel) 8. 테프론(Teflon, PTFE) 1. 알루미늄 합금(Aliminum Alloy) Mat.. 2020. 8. 10. 이전 1 다음
