반도체9 [반도체] 기구설계 기초 지식 11. Manual Valve 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 지난 시간에 이어 IGS(Integrated Gas System) 내부에 들어가는 부품들 중 Manual Valve에 대해 상세히 알아보는 시간을 가져 보도록 하겠습니다. Manual Valve 수동으로 작동하는 Valve로 수동 개폐로 인해 Gas Line ON/OFF를 결정할 수 있는 Valve입니다. 주로 Maintenance 또는 장비 이동 등의 상황에서 사용됩니다. Manual Valve에는 다음과 같은 여러 가지 Type의 Valve가 존재합니다. 1. Ball Valve Valve의 Plug가 Ball형으로 되어 있으며, 가운데로 유체가 통과할 수 있도록 구멍이 있는 Valve입니다. 1) 장점 : 90도만 회전시켜도 Valve의 개폐가 가능하며,.. 2020. 8. 30. [반도체] 기구설계 기초 지식 10. 기본 PARTS 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 장비 기구설계 시 사용되는 기계부품, PARTS 들에 대해 알아보도록 하겠습니다. 1. Baratron Gauge(바라트론 게이지) Baratron Gauge (바라트론 게이지)는 Throttle Valve와 연동되어 동작하는 Gauge를 말합니다. 이 Gauge를 사용하면 가스의 종류에 상관없이 True Pressure(P=F/A[단위:N/m^2)를 확인할 수 있습니다. 반도체 장비에서 흔히 사용되는 PARTS 중 하나로 가스의 압력을 확인하기 위해 사용됩니다. Baratron Gauge는 Plasma에 강하기 때문에 고진공에 자주 사용됩니다. Pressure Scale Range에 따라 1 torr, 10 torr, 1000 torr 등 다양한 타입.. 2020. 8. 24. [반도체] 기구설계 기초 지식 09. Thermocouple 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 기구설계의 기초 지식 9번째. 열전대에 대해 알아보도록 하겠습니다. 저온부터 고온까지 다양한 온도를 어우르며 사용하는 반도체 공정에선 그 온도를 파악하기 위해 열전대의 개념을 빼놓을 수 없습니다. 특히, 고온의 공정을 많이 사용하는 반도체 장비에서 온도에 의한 문제가 있는지를 판단하기 위해 필수적으로 장착되는 Parts이므로 반도체 공정에 관심이 있으시면, 온도에 얼마나 영향을 받는지 확인하기 위해 필수적으로 개념을 인지하여야 합니다. 열전대(Thermocouple)이란? 열전대 (Thermocouple)은 온도를 측정하는 센서를 말합니다. 열전대의 기본 원리는 씨백 효과(Seeback 효과)에 있습니다. 서로 다른 두 개의 전도성 금속을 연결하면 기준점과 접.. 2020. 8. 23. [반도체] 기구설계 기초 지식 08. O-Ring 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 기구설계의 기본이 되는 기구부품인 O-Ring 에 대해 알아보도록 하겠습니다. 진공을 만들기 위해 그리고 Seal을 적합하게 만들기 위해 무엇보다 중요한 역할을 하는 O-Ring. O-ring이란? O-Ring은 합성고무, 합성수지, 내열성 플라스틱 등으로 만들어진 원형 모양의 Seal 용 부품을 말합니다. 작은 크기에서부터 큰 크기까지 다양한 종류의 O-Ring이 있어 가장 광범위하게 사용되고 있는 Seal용 부품입니다. O-ring의 선정 기준 1) 온도 : O-Ring은 온도(고온/저온)에 따라 내열성/내한성을 고려한 재질 선정이 중요합니다.. 그 이유는 적합한 온도를 선정하지 않는다면, O-Ring 자체에서 생기는 Particle로 인해 배관을 타고 반.. 2020. 8. 17. [반도체] 기구설계 기초 지식 05. Cylinder 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 기구 구동부에서 가장 많이 쓰이는 기계 부품. Cylinder에 대해 알아보도록 하겠습니다. 구동기기란? 공기압으로 하는 일 중에는, 주로 직선 운동(Air Cylinder), 회전 운동(Rotary) 파지(Air Chuck)가 있습니다. 이러한 공기압으로 동작시키는 모든 기기를 구동기기라고 부릅니다. 이때 공기압으로 일을 하려면, Air Cylinder가 필요합니다. 압축 공기로 동작, 일을 하는 기기를 구동기기라고 부르지만, 이 중에서 직선 운동을 하는 것이 Cylinder 입니다. Cylinder란? 어릴적부터 쉽게 접하는 이 Cylinder는 기구 제품에 핵심이 되는 부품 중 하나입니다. 병원에서 사용하는 주사기도 이러한 Cylinder의 원리를.. 2020. 8. 17. [반도체] 기구설계 기초 지식 04. LM Guide 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체 기구설계시 가장 많이 쓰이는 Parts인 LM Guide에 대해 알아보도록 하겠습니다. LM Guide란? Linear-Motion Guide 의 약자로 LM Block 내부의 베어링을 효율적으로 움직여, 마찰을 최소화 하고 기구의 직선운동을 매끄럽게 동작시켜 주는 장치를 말합니다. LM Guide 자체에는 추진력이 없어 실린더, 모터 등을 함께 활용합니다. LM Guide의 명칭 LM Guide는 제조사마다 명칭이 조금씩 다르지만 용도는 동일합니다.일반적으로 우리가 가장 쉽게 접하는 제조사들을 예로 들자면,Misumi의 Linear Guide, THK의 LM Guide, NSK의 NSK Linear Guide 등 비슷한 명칭으로 불리우고 있습니다. L.. 2020. 8. 17. 이전 1 2 다음
