[반도체] 기구설계 기초 지식 10. 기본 PARTS

안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다.

 

오늘은 반도체 장비 기구설계 시 사용되는 기계부품, PARTS 들에 대해 알아보도록 하겠습니다.

 

 

1. Baratron Gauge(바라트론 게이지)

Baratron Gauge (바라트론 게이지)는 Throttle Valve와 연동되어 동작하는 Gauge를 말합니다.

이 Gauge를 사용하면 가스의 종류에 상관없이 True Pressure(P=F/A[단위:N/m^2)를 확인할 수 있습니다.

반도체 장비에서 흔히 사용되는 PARTS 중 하나로 가스의 압력을 확인하기 위해 사용됩니다.

Baratron Gauge는 Plasma에 강하기 때문에 고진공에 자주 사용됩니다.

Pressure Scale Range에 따라 1 torr, 10 torr, 1000 torr 등 다양한 타입의 Baratron Gauge가 있습니다.

 

 

2. Convectron Gauge(컨백트론 게이지)

Convectron Gauge (컨백트론 게이지)는 진공 Gauge의 일종으로 공기의 압력을 측정하는 Gauge를 말합니다.

Pressure 측정 범위가 넓은 편인데, 대기압(760 Torr)에서 0.0001 Torr까지 정밀하게 측정이 가능합니다.

다만, Plasma에 약하기 때문에 중진공이 필요한 곳에 사용됩니다.

 

3. ION Gauge(이온 게이지)

고진공 이상에서 흔히 사용하는 Gauge입니다. ION Gauge는 기체를 이온화시켜 그 이온 농도를 측정합니다.

이온화된 기체의 압력이 낮아지면 진공도가 높아지는 것을 뜻하고, 압력이 높아지면 진공도가 낮아지는 것을 뜻합니다. 

보통 10^-4 Torr ~ 10^-8 Torr 정도의 고진공에서 사용하는 Gauge입니다.

 

4. IGS (Integrated Gas System)

Intergrated Gas System은 반도체 제조 공정의 방지에 고순도 가스를 공급하고 제어하는 통합 가스 시스템을 말합니다.

간단히 말하자면, 가스를 공급하는 Module을 뜻하며 이는 MPB Box(Main Power Box) 내부에 주로 장착되어 있습니다.

 

IGS에는 다음과 같은 PARTS들로 구성되어 있습니다.

 

1) Manual Valve : 수동으로 작동하는 Valve로 수동 개폐로 인해 Gas Line ON/OFF를 결정합니다.

                                    Manual Valve는 Maintenance, 장비 이설 등에 필수적으로 사용됩니다. 

2) Gas Filter : Gas 내 포함된 불순물 제거하기 위해 사용되는 Filter의 일종입니다. 

                            일정 크기 이상의 Particle을 걸러주는 역할을 하며, IGS에 필수적으로 사용되는 Parts입니다.

3) Pressure Regulator : Gas가 공급되는 측에 설치가 되며, Inlet 측에서의 높은 압력 유입 방지하기 위해

                                                압력을 조절해 주는 장치를 말합니다.

4) Pressure Transducer : Regulator를 지난 Gas의 압력을 읽어오는 Parts를 말합니다.

                                                   Gas의 압력에 이상이 생기면, 신호를 보내주는 역할을 하고 있습니다.

5) Mass Flow Controller(MFC) : Gas의 Flow  양을 제어해 주는 장치를 말합니다. HORIBA가 대표적인 MFC 회사입니다.

                                                               Gas 양을 직접적으로 조절하는 중요한 역할을 하기 때문에 비싼 가격을 자랑합니다.

6) Pneumatic Valve : 공압을 통해 Open/Close를 조절하는 Valve를 말합니다.

7) Check Valve : 유체의 역류를 방지하기 하고 한쪽으로만 흐르게 하는 설계된 Valve를 말합니다.

8) Diaphragm Valve : 유체가 점액 상태이거나 혹은 유체 속에 고형 물질, 덩어리 등이 들어있는 유체를

                                            차단하기 위해 만들어진 Valve입니다.

                                            유동적인 판막 (Flexible Diaphragm)이 상하로 움직여 작동하는 Valve를 말합니다.

 

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오늘은 반도체에 들어가는 기본 PARTS에 대해 알아보았습니다.

 

다음 시간에는 IGS에 들어가는 PARTS 들에 대해 더욱 자세히 알아보는 시간을 가져보도록 하겠습니다.

 

감사합니다.