[반도체] 기구설계 기초 지식 07. Fitting
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[반도체] 기구설계 기초 지식 07. Fitting

by papercrane91 2020. 8. 17.

안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다.

 

오늘은 기구설계의 기본이 되는 부품인 Fitting에 대해 알아보도록 하겠습니다.

 

Tube Fitting이란?

Tube 사이를 잇는 하나의 다리역할을 하는 부품으로 Straight Union, Elbow Union, T Union, Reducing Union 등

다양한 종류의 Fitting들이 존재합니다. 

Teflon Tube or 우레탄 Tube로 공압을 연결할 때, Hard 배관을 서로 연결할 때 등 다양한 방면에서 쓰입니다.

일반적으로 자주 사용하는 Fitting Size는 [1/2" Union, 3/8" Union, 1/4" Union] 등이 있습니다.

 

 

Tube Fitting의 종류

Tube Fitting 은 연결되는 Tube의 수와 모양에 따라 크게 다음과 같이 나뉜다.

 

1. Straight Union : Tube 2개를 직선으로 연결하는 Union을 말합니다. 가장 일반적이면서 기본이 되는 Union 입니다.

 

2.  Elbow Union : L자로 꺽여 Tube 2개를 직각으로 연결하는 Union을 말합니다.

 

 

3. T-Union : Tube 3개를 연결하는 Union으로 하나는 직각 방향으로, 하나는 직선 방향으로 연결하는 Union을 말합니다.

                        하나의 유체를 2개로 분기하고 싶을 때 주로 사용합니다.

                        다만 유체의 병목현상이 발생할 수 있으므로, 충분한 유체가 지속적으로 공급되는 곳에 사용해야 합니다.

4. Cross 유니온: Tube 4개를 각 90도 직각 방향으로 연결하는 Union을 말합니다. 

                               하나의 유체를 3개로 분기하고 싶을 때 주로 사용합니다.

                               다만 유체의 병목현상이 발생할 수 있으므로, 충분한 유체가 지속적으로 공급되는 곳에 사용해야 합니다.

 

 

5. Male Connector : 한쪽은 Straight Union 반대편은 Male Connector의 형태. 즉 수나사 형태인 Fitting을 말합니다.

                                        암나사 체결형태의 부품과 Tube를 연결할 경우 주로 사용합니다.

 

6. Female Connector : 한쪽은 Straight Union 반대편은 Female Connector의 형태. 즉 암나사 형태인 Fitting을 말합니다.

                                              수나사 체결형태의 부품과 Tube를 연결할 경우 주로 사용합니다.

 

 

7. Reducing Union : 일반적인 Straight Union, Elbow Union, T-Union 등에 한 쪽 방향의 Fitting이

                                         다른 반대쪽에 비해 작은 Union을 말합니다.

                                        3/8" to 1/4" Reducing Union의 경우를 예로 들면,

                                        밑에 그림과 같이 한쪽 방향의 Union이 3/8" 반대편 방향의 Union은 1/4" 인 경우를 말합니다.

                                        이는 병목현상을 방지하기 위해 만들어진 경우이며, 생각보다 많은 경우 사용됩니다.

                                        특수하게 1/2" to 1/4"처럼 두 단계를 넘게 Reducing 되는 Fitting도 존재합니다.

            

 

 

Reducing Union의 경우도 한 쪽이 Male, Female Connector로 이루어진 Case도 존재합니다.

 

 

8. Tube Cap : 흔히 Endcap이라고도 불리우는 Tube Cap은 수나사 형태의 Endcap입니다.

                           밑에 그림에서 네모로 표시된 부분을 말하며,

                           일반적으로 Female 형태의 Connector를 EndCap 하기 위해 사용됩니다.

                

 

※Endcap : 현장용어 중 하나로  유체의 흐름 중 한곳을 차단하는 것을 뜻합니다.

                       일반적으로 Fitting에서만 쓰이는 용어가 아닌, 전반적으로 다양하게 쓰이는 용어 중 하나 입니다.

  

 

9. Tube Plug : Tube Cap과는 반대로 암나사 형태의 Endcap을 뜻합니다. 특히 Tube Cap보다 월등히 많이 사용되는데,

                             일반적인 Union의 반대편에 Plug를 체결하면 Endcap처리를 간단히 할 수 있기 때문입니다.

 

 

10. Bulkhead Union : 공간과 공간 사이를 연결하기 위해 사용되는 Union 입니다.

 

예를 들어 아래 그림과 같이 공간 A와 공간 B가 존재할 때,

공간 A라는 장비 내부를 Seal인 상태로 유지하고, 공간 A와 공간 B에 Tube를 연결하여 유체를 흘러주어야 한다고 가정해봅시다.

 

이럴 경우 일반적인 Union의 경우는 벽면 사이로 고정을 할 수 없을 것입니다.

하지만 아래와 같은 Bulkhead Union의 경우 두 개의 Nut구조가 있기 때문에 각각 반대의 면에서 조아주면

벽면 사이를 Bulkhead로 고정 하여 Seal을 유지할 수 있으며, 공간 A에서의 Tube와 공간 B에서의 Tube를 연결할 수 있게 됩니다.

이를 통해 유체를 무사히 흘를 수 있게 해주는 아주 유용한 구조의 Union이라 할 수 있습니다.

 

이 Bulkhead Union은 Straight Union 등과 같이 가장 기본이 되는 Union 중 하나 이며, 가장 많이 사용되는 Union이기도 합니다.

 

LOK Fitting과 VCR Fitting의 비교

 

LOK Fitting

VCR Fitting

설계 개념

Compression Fitting (Double Ferrule)

Face Seal Fitting (Metal Gasket)

제품

구성도

Fitting Body
Front Ferrule : 밀폐기능
Back Ferrule: 밀폐기능 및 Front Ferrule 지지기능
Nut: Ferrule을 Fitting Body에 고정시키는 기능

 

Gland
Male, Female Nut: Gland와 짝을 이뤄 체결 시, Gasket을 조여줌.
Gasket: Gland의 Seal Bead에 의해 압축되어 밀페를 보장

 

Sealing

Mechanism

너트의 회전에 의한 Torque가 튜브 외경을 파고들도록
양 Ferrule의 끝 부위에 힘을 증가시켜 금속 면 접촉(Metal-to-Metal)에 의한 밀폐를 형성하는 방식으로 기계적 조임 방식의 피팅.

 

두 Gland의 정밀하게 연마된 Seal Bead 부위가 Gasket을 압축하여 밀폐하는 방식으로, Metal-to-Metal Sealing에 의한 Leak Integrity를 제공함

부품 조립

방법

① 튜빙이 피팅 몸체의 안쪽 턱 부분에 밀착될 때까지
     삽입한다.
② 너트가 돌아가지 않는 상태까지 손으로 조인다.
③ 너트의 6시 방향에 회전 개시점을 표시한다.
스패너를 사용하여 너트를 1-1/4 회전만큼 조인다.

 

① Gasket을 Gland에 고정시킨다.
② Male Nut와 Female Nut를 일직선으로 고정시킨 후,
     숫 너트가 움직이지 않을 때까지 손으로 조인다.
숫 너트를 고정하고 암 너트를 렌치로 1/8 
     회전만큼
 조인다.

 

장점

재조립이 용이하고, 조립시간이 짧다.
Maintenance가 용이.
Material 단가가 저렴하다.

밀폐기능이 우수하므로 가연성, 독성가스에
     사용가능.
Dead Volume이 적다.

단점

① 밀폐기능이 VCR에 비해 떨어지므로 불활성 가스라인에
     사용
.

용접이 필요하므로 Cost-up이 되고, 조립시간이
     길다
.
Welding을 하므로 부동태 피막의 파손이 예상됨.

적용 기준

CDA, GN2, PCW, P-Vacuum 라인에 적용.
② 누설이 발생해도 Cleanroom 환경 및 인체에 무해한
     가스배관에 적용.

가연성, 독성가스 등의 가스라인에 적용.
② 누설발생 시 Cleanroom 환경오염 및 화재가
     예상되는 유해한 가스배관에 적용.

 


 

이상 오늘은 반도체 기구 부품 중 가장 기본이되는 Fitting에 대해 알아보았습니다.

 

다음시간에도 유익한 반도체 지식을 설명드리도록 노력하겠습니다.

 

감사합니다.

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