반도체 장비7 [반도체] 기구설계 기초 지식 03. 진공 안녕하세요. 유테크의 아우토반입니다. 오늘은 반도체에서도 가장 중요한 개념인 진공에 대해 알아보고자 합니다. 진공이란? 간단히 말해 직관적으로 아무것도 존재하지 않은 텅 빈 공간. 즉, 아무 입자들도 존재하지 않아 가장 이상적인 상태를 말합니다. 진공 Quality 한 공간 안에 남아 있는 물질들의 양을 뜻하는 말로, 이 물질의 양에 의해 진공의 질 (Vacuum Quality)이 결정된다. 정리를 하면 다음의 표와 같이 정리할 수 있습니다. 반도체 공정에서 왜 진공이 중요한가요? 반도체 공정에서 특히 진공의 개념이 강조되고 있습니다. 그 이유는 바로 Particle 방지를 위한 기초 개념이기 때문입니다. 내가 원하는 Source만을 증착시키고 깍아나가고 싶은 공정에서 다른 기체가 혼합이 된다면, 미세한.. 2020. 8. 12. 이전 1 2 다음
