기구설계7 [반도체] 기구설계 기초 지식 01. Material 반도체 기구설계를 진행하기 위해 가장 기초가 되는 지식은 바로 재료이다. 어떠한 Mateiral을 쓰느냐에 따라 가격, 가공시간을 결정할 뿐 아니라, 반도체에서 가장 중요한 Particle 을 방지할 수 있는 가장 기본이 되는 요소이기 때문이다. 그렇다면, 반도체 장비에서 가장 흔히 쓰이는 재료들을 한번 살펴보면 다음과 같다. • 목록 1. 알루미늄 합금(Aliminum Alloy) 2. 스테인리스강 (Stainless Steel, SUS-JIS 규격, STS-KS 규격) 3. 강 (Steel) 4. 석영 (Quartz) 5. 세라믹 (Ceramic) 6. 하스테로이 (Hastelloy) 7. 니켈(Nickel) 8. 테프론(Teflon, PTFE) 1. 알루미늄 합금(Aliminum Alloy) Mat.. 2020. 8. 10. 이전 1 2 다음